一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置[CN201910532293.0] - 浙江工业大学

专利申请

2019-06-19
公布公告

2024-02-09
授权日期

2024-02-09
终止

2034-02-06

一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201910532293.0 申请日期： 2019-06-19 专利主类别： C23C14/35 {{ classMap["C23C14/35"] }}

申请人名称：浙江工业大学

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申请人地址：浙江省杭州市下城区潮王路18号

专利分类项目

C23C14/35 : 利用磁场的，例如磁控溅射

专利注册信息

初审公告期号	2019-06-19	初审公告日期	2024-02-09
注册公告期号	2024-02-09	注册公告日期	2024-02-09
专用权期限	2024-02-09 - 2034-02-06	专利类型	发明授权
代理组织机构	浙江千克知识产权代理有限公司查看该机构代理的所有专利

专利介绍

本发明公开了一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，包括取样长杆，装置还包括设于取样长杆前部的圆筒状的长杆端头、样片基座，所述样片基座设有基座连接部，所述基座连接部设有侧杆，所述长杆端头前部开设有侧杆滑入槽，所述长杆端头后部安装有电磁铁，所述电磁铁设于长杆端头的后方，所述长杆端头内设有回复机构，所述回复机构连接有挂钩，所述挂钩后部设有吸合头，所述挂钩前部设有供侧杆钩挂的槽，所述挂钩绕回复机构转动时，吸合头靠近电磁铁。本发明在缩短搬运的时间，且要避免样片在搬运过程中受到损伤，以提高生产效率和成品率，本发明结构操作便捷，且能够通过鸭嘴槽进行水平方向上的小幅度调整，使其操作更为灵活。

法律进度