热氧化Zn3N2：III族元素制备p-型氧化锌的方法[CN201510658463.1] - 哈尔滨工业大学

专利申请

2015-10-12
公布公告

2018-07-03
授权日期

2018-07-03
终止

2028-06-30

热氧化Zn3N2：III族元素制备p-型氧化锌的方法

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201510658463.1 申请日期： 2015-10-12 专利主类别： C23C14/35 {{ classMap["C23C14/35"] }}

申请人名称：哈尔滨工业大学

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申请人地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

专利分类项目

C23C14/35 : 利用磁场的，例如磁控溅射

C23C14/06 : 以镀层材料为特征的

C23C14/58 : 后处理

专利注册信息

初审公告期号	2015-10-12	初审公告日期	2018-07-03
注册公告期号	2018-07-03	注册公告日期	2018-07-03
专用权期限	2018-07-03 - 2028-06-30	专利类型	发明授权
代理组织机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所查看该机构代理的所有专利

专利介绍

热氧化Zn3N2：III族元素制备p‑型氧化锌的方法，涉及一种制备p‑型氧化锌的方法。本发明是为了解决现有的p‑型氧化锌掺杂时存在自补偿效应、受主的固溶率低、受主在氧化锌中不稳定的技术问题。本发明：一、清洗衬底；二、磁控溅射沉积制备Zn3N2：III族元素薄膜：三、热氧化Zn3N2：III族元素薄膜。本发明通过氧化Zn3N2：III族元素的方法得到了p‑型氧化锌，并且在800℃下退火仍然保持p‑型，甚至在900℃高温下，氧化锌的导电特性仍为p‑型导电，提高了p‑型氧化锌的热稳定性。

法律进度