一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法[CN201510778395.2] - 浙江工业大学

专利申请

2015-11-13
公布公告

2017-12-05
授权日期

2017-12-05
终止

2027-12-03

一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201510778395.2 申请日期： 2015-11-13 专利主类别： C23C14/35 {{ classMap["C23C14/35"] }}

申请人名称：浙江工业大学

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申请人地址：浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号

专利分类项目

C23C14/35 : 利用磁场的，例如磁控溅射

C23C14/16 : 在金属基体或在硼或硅基体上

C23C16/27 : 仅沉积金刚石

专利注册信息

初审公告期号	2015-11-13	初审公告日期	2017-12-05
注册公告期号	2017-12-05	注册公告日期	2017-12-05
专用权期限	2017-12-05 - 2027-12-03	专利类型	发明授权
代理组织机构	杭州天正专利事务所有限公司查看该机构代理的所有专利

专利介绍

本发明公开了一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，包括以下步骤：(1)利用直流磁控溅射技术在不锈钢表面沉积连续致密的铬过渡层；(2)采用热丝化学气相沉积技术在步骤(1)获得的铬过渡层表面制备金刚石薄膜。本发明采用铬过渡层经热丝化学气相沉积方法成功在不锈钢基底上制备出连续致密的金刚石薄膜，且薄膜完全没有脱落；制备的薄膜具有较好的附着力，为实现金刚石涂层在以不锈钢为基材的产品上的应用提供了技术上的可能，具有较高的应用价值。

法律进度