一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置[CN201822134307.7] - 浙江工业大学

专利申请

2018-12-19
公布公告

2019-09-24
授权日期

2019-09-24
终止

2024-06-25

一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。失效专利

注册号： CN201822134307.7 申请日期： 2018-12-19 专利主类别： C23C14/35 {{ classMap["C23C14/35"] }}

申请人名称：浙江工业大学

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申请人地址：浙江省杭州市下城区朝晖六区

专利分类项目

C23C14/35 : 利用磁场的，例如磁控溅射

C23C14/50 : 基座

专利注册信息

初审公告期号	2018-12-19	初审公告日期	2019-09-24
注册公告期号	2019-09-24	注册公告日期	2019-09-24
专用权期限	2019-09-24 - 2024-06-25	专利类型	实用新型
代理组织机构	杭州浙科专利事务所查看该机构代理的所有专利

专利介绍

本实用新型公开了一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置，包括试样台固定装置和圆棒试样夹持装置。试样台固定装置由固定板与螺钉等部件组成；圆棒试样夹持装置由电机与螺纹套筒等部件组成。本实用新型结构设计巧妙，使用方便，能够同时自动给多根圆棒试样镀膜。在磁控溅射仪内应用本装置同时给多根圆棒试样镀膜，操作简单，自动性高，稳定性强，膜的厚度也比较均匀，且与基体有着良好的结合力。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

法律进度