• 专利申请
    2020-09-29
  • 公布公告
    2021-04-30
  • 授权日期
    2021-04-30
  • 终止
    2031-04-28
一种免驱动低光衰自动调节光束器
一种免驱动低光衰自动调节光束器
* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。 有效专利
CN202022188462.4 2020-09-29 G03F7/20 {{ classMap["G03F7/20"] }}
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江西省九江市武宁县万福经济技术开发区
专利分类项目

G03F7/20 : 曝光及其设备

专利注册信息
初审公告期号 2020-09-29 初审公告日期 2021-04-30
注册公告期号 2021-04-30 注册公告日期 2021-04-30
专用权期限 2021-04-30 - 2031-04-28 专利类型 实用新型
代理组织机构 郑州欧凯专利代理事务所 查看该机构代理的所有专利
专利介绍
本实用新型属于半导体器件制造技术领域，尤其是一种免驱动低光衰自动调节光束器，包括壳体，所述壳体的顶部开设有活动孔，且壳体滑动安装有活动板，活动板的顶部设有调节装置本体且活动板的底部固定安装有两个第二连接杆，两个第二连接杆的低端均转动安装有斜杆的一端，两个斜杆的中心位置为转动连接且两个斜杆为交叉设置，两个斜杆的底部均转动安装有第一连接杆的一端，两个第一连接杆的另端均固定安装有活动块，两个活动块的顶部均固定安装有固定圆杆，两个固定圆杆上均转动安装有连杆的一端，所述壳体的底部内壁上转动安装有圆杆。本实用新型结构简单、使用方便、便于对调节光束器进行检修。
法律进度

  • 2021-04-30 授权 ...

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