一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统[CN201610378019.9] - 哈尔滨工业大学

专利申请

2016-05-31
公布公告

2017-11-03
授权日期

2017-11-03
终止

2027-11-01

一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201610378019.9 申请日期： 2016-05-31 专利主类别： G03F7/20 {{ classMap["G03F7/20"] }}

申请人名称：哈尔滨工业大学

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申请人地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

专利分类项目

G03F7/20 : 曝光及其设备

H05G2/00 : 没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法，如有等离子产生

专利注册信息

初审公告期号	2016-05-31	初审公告日期	2017-11-03
注册公告期号	2017-11-03	注册公告日期	2017-11-03
专用权期限	2017-11-03 - 2027-11-01	专利类型	发明授权
代理组织机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所查看该机构代理的所有专利

专利介绍

一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPP EUV光源的电源设计时，负载特性难以模拟，电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分：预脉冲高压电极位于最中心，左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧，主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧，三者孔对应，通过孔固定连接；右侧部分：右侧绝缘套套在地电极的外侧，两者孔对应，且通过孔固定连接，毛细管夹在主脉冲地电极和预脉冲高压电极的之间。它用于模拟真实负载的电极结构。

法律进度