一种变焦曝光方法[CN201810902950.1] - 锐捷光电科技(江苏)有限公司

专利申请

2018-08-09
公布公告

2018-11-30
授权日期

2020-09-04
终止

2028-11-27

一种变焦曝光方法

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201810902950.1 申请日期： 2018-08-09 专利主类别： G03F7/20 {{ classMap["G03F7/20"] }}

申请人名称：锐捷光电科技(江苏)有限公司

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申请人地址：江苏省苏州市张家港经济技术开发区国泰北路15-28号1C幢

专利分类项目

G03F7/20 : 曝光及其设备

专利注册信息

初审公告期号	2018-08-09	初审公告日期	2018-11-30
注册公告期号	2020-09-04	注册公告日期	2020-09-04
专用权期限	2018-11-30 - 2028-11-27	专利类型	发明公开
代理组织机构	--

专利介绍

本发明公开了一种变焦曝光方法，包括以下步骤：步骤1、将涂布完成光阻后的蓝宝石晶圆放置曝光机待曝，使2次曝光时晶圆固定在相同位置，避免位移时2次曝光位置不同造成图形失焦；步骤2、进行2次曝光前，确认曝光机单次曝光时适用的能量时间、可用之焦距景深范围、适用曝光能量与中心焦距；步骤3、确认适用曝光能量及中心焦距后可开始进行2次曝光变焦，首先进行首次曝光；步骤4、完成首次曝光后，进行第2次变焦曝光；步骤5、完成变焦曝光后，退出蓝宝石晶圆；本发明在曝光机进行曝光时，于可用的景深范围内进行2次变焦曝光，能够明显提升后段蚀刻效率，值得大力推广。

法律进度