极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座[CN201610437955.2] - 哈尔滨工业大学

专利申请

2016-06-17
公布公告

2017-09-29
授权日期

2017-09-29
终止

2027-09-27

极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201610437955.2 申请日期： 2016-06-17 专利主类别： G03F7/20 {{ classMap["G03F7/20"] }}

申请人名称：哈尔滨工业大学

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申请人地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

专利分类项目

G03F7/20 : 曝光及其设备

专利注册信息

初审公告期号	2016-06-17	初审公告日期	2017-09-29
注册公告期号	2017-09-29	注册公告日期	2017-09-29
专用权期限	2017-09-29 - 2027-09-27	专利类型	发明授权
代理组织机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所查看该机构代理的所有专利

专利介绍

极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。

法律进度