毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统[CN201610444231.0] - 哈尔滨工业大学

专利申请

2016-06-20
公布公告

2016-08-17
授权日期

2017-10-03
终止

2026-08-15

毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201610444231.0 申请日期： 2016-06-20 专利主类别： G03F7/20 {{ classMap["G03F7/20"] }}

申请人名称：哈尔滨工业大学

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申请人地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

专利分类项目

G03F7/20 : 曝光及其设备

专利注册信息

初审公告期号	2016-06-20	初审公告日期	2016-08-17
注册公告期号	2017-10-03	注册公告日期	2017-10-03
专用权期限	2016-08-17 - 2026-08-15	专利类型	发明公开
代理组织机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所查看该机构代理的所有专利

专利介绍

毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。

法律进度