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2018-09-06
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2023-06-06
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2033-06-03
* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。
有效专利
CN201811039603.7
2018-09-06
G03F7/20 {{ classMap["G03F7/20"] }}
重庆市沙坪坝区大学城东路20号
专利分类项目
专利注册信息
| 初审公告期号 |
2018-09-06
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初审公告日期 |
2023-06-06 |
| 注册公告期号 |
2023-06-06
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注册公告日期 |
2023-06-06 |
| 专用权期限 |
2023-06-06 - 2033-06-03
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专利类型 |
发明授权 |
| 代理组织机构 |
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专利介绍
本发明提供了一种光刻机小工件卡具，由升降旋转功能装置、光点定位功能装置、固定功能装置三部分组成。其特征在于：卡具的整体结构，从下往上分别是最底下的底座台，外空心柱和内部的内空心柱，最上面是透明材质的工件台。本发明技术有益效果在于对小型工件起固定、支撑、定位作用，使加工时的精确度更高；同时，还能够对工件进行加工的高度和位置进行调节，降低了加工难度；再有，能够对加工的位置进行精确定位，避免了二次加工因放置位置不准确而造成的加工误差，简化了加工操作步骤。
法律进度
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