一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法[CN201810719102.7] - 浙江工业大学

专利申请

2018-07-03
公布公告

2018-12-11
授权日期

2020-05-22
终止

2028-12-08

一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201810719102.7 申请日期： 2018-07-03 专利主类别： C23C14/06 {{ classMap["C23C14/06"] }}

申请人名称：浙江工业大学

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申请人地址：浙江省杭州市下城区潮王路18号

专利分类项目

C23C14/06 : 以镀层材料为特征的

C23C14/18 : 在其他无机物基体上

C23C14/34 : 溅射

专利注册信息

初审公告期号	2018-07-03	初审公告日期	2018-12-11
注册公告期号	2020-05-22	注册公告日期	2020-05-22
专用权期限	2018-12-11 - 2028-12-08	专利类型	发明公开
代理组织机构	杭州杭诚专利事务所有限公司查看该机构代理的所有专利

专利介绍

本发明涉及材料摩擦磨损与固体润滑技术领域，尤其涉及一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法，所述固体润滑膜包括基体(1)，金属过渡层(2)和纳米多层膜(3)，所述纳米多层膜为由若干纳米复合单元组成的层状结构，所述纳米复合单元包括WSx层(4)，金属层(5)，非晶态碳膜层(6)和金属亚层(7)，所述金属层和金属亚层的材料相同或不同。本发明的固体润滑膜具有优异的抗氧化性能，摩擦因数较低，承载能力及耐磨性优良，与基体结合状态较好，使用寿命长；制备工艺简单，沉积过程易控制，成本低且制备过程安全无污染；能够应用于机械领域零部件表面的润滑防护膜，具有广阔的应用前景。

法律进度