• 专利申请
    2022-07-12
  • 公布公告
    2024-04-02
  • 授权日期
    2024-04-02
  • 终止
    2034-03-31
一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法
一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法
* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。 有效专利
CN202210821195.0 2022-07-12 C23C18/12 {{ classMap["C23C18/12"] }}
安徽建筑大学 查看申请人名下所有专利
安徽省合肥市紫云路292号
专利分类项目

C23C18/12 : 以沉积金属材料以外之无机材料为特征的

B82Y30/00 : 用于材料和表面科学的纳米技术，例如：纳米复合材料

B82Y40/00 : 纳米结构的制造或处理

C01G31/02 : 氧化物

专利注册信息
初审公告期号 2022-07-12 初审公告日期 2024-04-02
注册公告期号 2024-04-02 注册公告日期 2024-04-02
专用权期限 2024-04-02 - 2034-03-31 专利类型 发明授权
代理组织机构 北京金智普华知识产权代理有限公司 查看该机构代理的所有专利
专利介绍
本发明公开了一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法，采用低温液相沉积法合并氮气气氛热处理制备纳米片状VO2薄膜，其技术特征如下：以一定的摩尔比配制硫酸氧钒和乳酸的混合溶液，于室温下搅拌使其充分络合，使用氨水调节络合溶液的pH值在3.2~4.4范围，之后放入表面洁净的玻璃等基板，沉积反应温度控制在60℃~90℃范围，沉积反应一定时间后即获得的纳米片状前驱体薄膜；所得前驱体薄膜在一定氮气流速下，于一定温度下退火后即得纳米片状VO2薄膜。本发明提供了一种反应温度低、基底要求低、能耗低、可大面积成膜的纳米片状VO2薄膜制备方法。
法律进度

  • 2024-04-02 授权 ...

  • 2022-11-29 实质审查的生效 IPC(主分类): C23C 18/12 专利申请号: 202210821195.0 申请日: 2022.07 ...

  • 2022-11-11 公开 ...

同类专利
  • 一种制备带有抗菌耐蚀石墨烯/磷灰石复合涂层的可降解镁笼植入体的方法

    一种制备带有抗菌耐蚀石墨烯/磷灰石复合涂层的可降解镁笼植入体的方法

    查看详情
  • 一种低漏电流的YDMCO薄膜及其制备方法

    一种低漏电流的YDMCO薄膜及其制备方法

    查看详情
  • 一种具有高磁性能的YDMO薄膜及其制备方法

    一种具有高磁性能的YDMO薄膜及其制备方法

    查看详情
  • 一种用于垃圾焚烧炉内壁复合防腐蚀涂层的制备方法

    一种用于垃圾焚烧炉内壁复合防腐蚀涂层的制备方法

    查看详情
  • 原位制备高能晶面择优金红石型二氧化钛薄膜的方法

    原位制备高能晶面择优金红石型二氧化钛薄膜的方法

    查看详情
  • 一种改性泡沫铜及其制备方法和应用

    一种改性泡沫铜及其制备方法和应用

    查看详情

咨询该专利

您还可以
求购专利
推荐专利
{{ v.name }}
取 消 确 定