• 专利申请
    2020-04-16
  • 公布公告
    2020-09-01
  • 授权日期
    2022-01-04
  • 终止
    2024-04-26
基于氧化铜/氧化镓纳米柱阵列pn结的柔性紫外探测器及其制备方法
基于氧化铜/氧化镓纳米柱阵列pn结的柔性紫外探测器及其制备方法
* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。 失效专利
CN202010299593.1 2020-04-16 H01L31/109 {{ classMap["H01L31/109"] }}
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浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道2号大街928号
专利分类项目

H01L31/109 : 为PN异质结型势垒的

H01L31/0236 : 特殊表面结构

H01L31/032 : 除掺杂或其他杂质外，只包含未列入H01L 31/0272至H01L 31/0312各组的化合物

H01L31/0352 : 以其形状或以多个半导体区域的形状、相关尺寸或配置为特征的

H01L31/18 : 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备

B82Y40/00 : 纳米结构的制造或处理

专利注册信息
初审公告期号 2020-04-16 初审公告日期 2020-09-01
注册公告期号 2022-01-04 注册公告日期 2022-01-04
专用权期限 2020-09-01 - 2024-04-26 专利类型 发明公开
代理组织机构 南京正联知识产权代理有限公司 查看该机构代理的所有专利
专利介绍
本发明涉及一种基于氧化铜/氧化镓纳米柱阵列pn结的柔性紫外探测器及制备方法，所述探测器包括依次设置的柔性铜片衬底，所述柔性铜片衬底的至少一侧具有氧化铜层，位于所述铜片衬底一侧的氧化铜层上设置β-Ga2O3纳米柱阵列，位于所述β-Ga2O3纳米柱阵列上的石墨烯/Ag纳米线复合层，位于所述石墨烯/Ag纳米线复合层上的Ag电极，所述氧化铜与所述β-Ga2O3纳米柱阵列之间形成氧化铜/氧化镓纳米柱阵列pn结，所述柔性铜片衬底作为铜电极与所述Ag电极形成通路。本发明的紫外探测器，具有三维空间异质结界面结构和日盲特性，具有优异的化学和热稳定性，柔性可弯曲，耐压强，工作温度和功耗低，重复性良好，可定向识别波长位于日盲波段的200-280nm的紫外光。
法律进度

  • 2024-04-26 未缴年费专利权终止 IPC(主分类): H01L 31/109 专利号: ZL 202010299593.1 申请日: 2020. ...

  • 2022-01-04 授权 ...

  • 2020-09-25 实质审查的生效 IPC(主分类): H01L 31/109 专利申请号: 202010299593.1 申请日: 2020.0 ...

  • 2020-09-01 公开 ...

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