• 专利申请
    2020-05-19
  • 公布公告
    2022-06-17
  • 授权日期
    2022-06-17
  • 终止
    2032-06-14
一种多层陶瓷基板气密性检测装置
一种多层陶瓷基板气密性检测装置
* 专利信息仅供参考,不具有法律效力。 有效专利
CN202010424528.7 2020-05-19 G01M3/20 {{ classMap["G01M3/20"] }}
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江苏省盐城市城南新区解放南路285号
专利分类项目
专利注册信息
初审公告期号 2020-05-19 初审公告日期 2022-06-17
注册公告期号 2022-06-17 注册公告日期 2022-06-17
专用权期限 2022-06-17 - 2032-06-14 专利类型 发明授权
代理组织机构 南京经纬专利商标代理有限公司 查看该机构代理的所有专利
专利介绍
本发明公开了一种多层陶瓷基板气密性检测装置,包括定位上料装置、机械手、对中定位装置、真空接头、真空橡皮、喷枪和质谱检漏仪;定位上料装置包括上料筒和顶升板;若干块待测的多层陶瓷基板垂直堆叠放置在顶升板顶部;真空橡皮具有空腔窗;机械手底部设有吸盘和弹性压框;弹性压框同轴套设在吸盘外周的机械手底部,弹性压框的截面宽度不小于0.5mm;对中定位装置包括相互垂直的横向对中组件和竖向对中组件;横向对中组件和竖向对中组件均包括两块定位板。本发明能使整个检测过程均自动完成,自动化程度高,同时能准确控制多层陶瓷基板外边缘与空腔窗边缘之间的间距,且压紧位置和压紧力保持一致,从而使得气密性检测结果可靠、准确度高。
法律进度
  • 2023-08-01 专利权的转移 登记生效日: 2023.07.20 专利权人由盐城工业职业技术学院变更为合肥智慧龙机械设计有限公司 地址由22 ...

  • 2022-06-17 授权 ...

  • 2020-08-11 实质审查的生效 IPC(主分类): G01M 3/20 专利申请号: 202010424528.7 申请日: 2020.05. ...

  • 2020-07-17 公开 ...

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