• 专利申请
    2017-12-25
  • 公布公告
    2020-08-18
  • 授权日期
    2020-08-18
  • 终止
    2030-08-16
一种表面梯度薄膜的制备方法
一种表面梯度薄膜的制备方法
* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。 有效专利
CN201711416464.0 2017-12-25 C23C14/30 {{ classMap["C23C14/30"] }}
浙江工业大学 查看申请人名下所有专利
浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号
专利分类项目

C23C14/30 : 电子轰击法

C23C14/28 : 波能法或粒子辐射法

C23C14/04 : 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物

C23C14/58 : 后处理

专利注册信息
初审公告期号 2017-12-25 初审公告日期 2020-08-18
注册公告期号 2020-08-18 注册公告日期 2020-08-18
专用权期限 2020-08-18 - 2030-08-16 专利类型 发明授权
代理组织机构 杭州斯可睿专利事务所有限公司 查看该机构代理的所有专利
专利介绍
一种表面梯度薄膜的制备方法，包括表面梯度薄膜制备装置，所述制备方法还包括以下步骤：首先将真空腔室抽真空，源内的靶材通过坩埚加热或电子束加热气化，成为离散态的微观粒子，向四周扩散；在经过遮板位置时，部分微观粒子会被遮挡，通过调节遮板的大小、方向来控制经过的微观粒子的含量和扩散的主次方向；遮板可以保持一定姿态，使各个方向源的辐射强度不同，在某个方向形成线性梯度，也可以在制备过程中保持转动，使各个方向源的辐射强度均匀。本发明提供了一种通过但不仅限于气象沉积或溅射等制备工艺，使用二元到四元甚至更多元素种类的源材，在基质上制备出横向梯度线性变化，且厚度均匀的表面梯度薄膜的制备方法。
法律进度

  • 2020-08-18 授权 ...

  • 2018-07-13 实质审查的生效 IPC(主分类): C23C 14/30 专利申请号: 201711416464.0 申请日: 2017. ...

  • 2018-06-19 公开 ...

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