一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置[CN201610405113.9] - 浙江工业大学

专利申请

2016-06-08
公布公告

2018-09-07
授权日期

2018-09-07
终止

2028-09-04

一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201610405113.9 申请日期： 2016-06-08 专利主类别： G01N21/95 {{ classMap["G01N21/95"] }}

申请人名称：浙江工业大学

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申请人地址：浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号

专利分类项目

G01N21/95 : 特征在于待测物品的材料或形状

G01N21/01 : 便于进行光学测试的装置或仪器

专利注册信息

初审公告期号	2016-06-08	初审公告日期	2018-09-07
注册公告期号	2018-09-07	注册公告日期	2018-09-07
专用权期限	2018-09-07 - 2028-09-04	专利类型	发明授权
代理组织机构	杭州斯可睿专利事务所有限公司查看该机构代理的所有专利

专利介绍

一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置，包括偏振激光器，所述偏振激光器的输出方向设置第一偏振片和分光棱镜，所述分光棱镜的反射出光侧依次布置1/2波片、渥氏棱镜和物镜，所述物镜远离渥氏棱镜的另一侧为被测面；所述分光棱镜的折射出光侧布置反射镜，所述反射镜的出光方向依次布置第二偏振片、第二汇聚镜和用于实现剪切干涉检测的第一光电探测器，所述反射镜、分光棱镜、1/2波片、渥氏棱镜和物镜位于同一光轴上。本发明提供一种提升检测效率、减少误判率的球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置。

法律进度