六氟化硫气体纯度检测装置[CN201610040444.7] - 晋江知保企业管理咨询有限公司

专利申请

2016-01-21
公布公告

2016-06-01
授权日期

2019-01-01
终止

2026-05-30

六氟化硫气体纯度检测装置

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201610040444.7 申请日期： 2016-01-21 专利主类别： G01N27/12 {{ classMap["G01N27/12"] }}

申请人名称：晋江知保企业管理咨询有限公司

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申请人地址：福建省泉州市晋江市青阳街道阳光社区阳光路辉华楼302室

专利分类项目

G01N27/12 : 与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻

专利注册信息

初审公告期号	2016-01-21	初审公告日期	2016-06-01
注册公告期号	2019-01-01	注册公告日期	2019-01-01
专用权期限	2016-06-01 - 2026-05-30	专利类型	发明公开
代理组织机构	北京远大卓悦知识产权代理事务所查看该机构代理的所有专利

专利介绍

本发明公开了一种六氟化硫气体纯度检测装置，包括：第一气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第一吸附柱，第一气体检测装置的进气口设置有第一气体流量计，进气口与第一吸附柱的进气的一端连接；第二气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第二吸附柱，第二吸附柱的出气的一端设置有第二气体流量计；高温裂解炉，其与第二气体检测装置连接；第三气体检测装置，其与高温裂解炉连接，第三气体检测装置包括依次连接的气敏传感器、电性质检测设备和数据处理设备，气敏传感器具有在基材上镀有TiO2-WO3复合氧化物薄膜形成的气敏层和非金属保护层。本发明具有准确全面排除干扰气体，检测精度高以及可实现在线监测的有益效果。

法律进度