• 专利申请
    2021-11-12
  • 公布公告
    2022-04-08
  • 授权日期
    2022-04-08
  • 终止
    2024-06-25
一种X/Y两轴精密气浮运动平台
一种X/Y两轴精密气浮运动平台
* 专利信息仅供参考,不具有法律效力。 失效专利
CN202122766214.8 2021-11-12 B25H1/16 {{ classMap["B25H1/16"] }}
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浙江省杭州市拱墅区朝晖六区
专利分类项目
专利注册信息
初审公告期号 2021-11-12 初审公告日期 2022-04-08
注册公告期号 2022-04-08 注册公告日期 2022-04-08
专用权期限 2022-04-08 - 2024-06-25 专利类型 实用新型
代理组织机构 杭州浙科专利事务所 查看该机构代理的所有专利
专利介绍
本实用新型公开了一种X/Y两轴精密气浮运动平台,包括机架支撑脚、设置在机架支撑脚上的大理石基座、设置在大理石基座上的X轴气浮移动台及设置在X轴气浮移动台上的Y轴气浮移动台,所述X轴气浮移动台与Y轴气浮移动台结构相同,包括大理石导轨、气浮滑块及直线电机,所述大理石导轨两侧分别向形成外凸部,整体呈T型结构,所述滑块配合设置在大理石导轨外围,所述滑块两侧与直线电机相连;本实用新型的有益效果是:通过设计的大理石导轨,减小了由于导轨变形而对气膜厚度的影响,同时利用封闭式导轨,保证气膜厚度的均匀,确保气浮平台的精度。
法律进度
  • 2024-06-25 未缴年费专利权终止 IPC(主分类): B25H 1/16 专利号: ZL 202122766214.8 申请日: 2021.11 ...

  • 2022-04-08 授权 ...

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