• 专利申请
    2018-08-09
  • 公布公告
    2021-08-13
  • 授权日期
    2021-08-13
  • 终止
    2031-08-11
一种凹形光阻涂布的制作过程
一种凹形光阻涂布的制作过程
* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。 有效专利
CN201810903832.2 2018-08-09 B05D1/00 {{ classMap["B05D1/00"] }}
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江苏省苏州市张家港经济技术开发区国泰北路15-28号1C幢
专利分类项目

B05D1/00 : 涂布液体或其他流体的工艺

B05D1/02 : 用喷射方法

B05D3/00 : 涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理

B05D3/04 : 暴露在气体中

B05D7/00 : 除植绒外，专门适用于对特殊表面涂布液体或其他流体的工艺，或涂布特殊的液体或其他流体的工艺

B05D5/00 : 对表面涂布液体或其他流体以获得特殊表面效果，光洁度或结构的工艺

专利注册信息
初审公告期号 2018-08-09 初审公告日期 2021-08-13
注册公告期号 2021-08-13 注册公告日期 2021-08-13
专用权期限 2021-08-13 - 2031-08-11 专利类型 发明授权
代理组织机构 --
专利介绍
本发明公开了一种凹形光阻涂布的制作过程,包括如下步骤：步骤1：先将蓝宝石芯片放置在电浆清洗机腔体内部，利用氧电浆去除表面有机物质与改变电荷分布状态；步骤2：在进行光阻涂布之前，将附着剂喷涂至蓝宝石芯片表面；增加蓝宝石芯片对光阻附着力，对附着剂进行二次涂布喷涂达到稳定膜厚分布的效果；涂布完附着剂并旋转蓝宝石芯片；步骤3：进行第一次喷涂光阻；光阻喷头置于蓝宝石芯片中心进行喷涂；步骤5：光阻喷头移至距蓝宝石芯片中心点250mm处，进行第二次光阻喷涂；步骤6：将旋转转速提升至2000～3000rpm用喷枪蓝宝石芯片去除多余光阻，冲洗蓝宝石芯片背面去除多余光阻；本发明制作的蓝宝石芯片上光阻为中间薄外围厚的分布状态。
法律进度

  • 2024-10-08 专利权的转移 登记生效日: 2024.09.19 专利权人由锐捷光电科技（江苏）有限公司变更为惠州市仟通科技有限公司 国家或 ...

  • 2021-08-13 授权 ...

  • 2019-01-18 实质审查的生效 IPC(主分类): B05D 1/00 专利申请号: 201810903832.2 申请日: 2018.0 ...

  • 2018-12-25 公开 ...

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