• 专利申请
    2017-02-09
  • 公布公告
    2023-05-23
  • 授权日期
    2023-05-23
  • 终止
    2033-05-20
一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置
一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置
* 专利信息仅供参考,不具有法律效力。 有效专利
CN201710070899.8 2017-02-09 G01P5/00 {{ classMap["G01P5/00"] }}
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浙江省杭州市下城区潮王路18号
专利分类项目
专利注册信息
初审公告期号 2017-02-09 初审公告日期 2023-05-23
注册公告期号 2023-05-23 注册公告日期 2023-05-23
专用权期限 2023-05-23 - 2033-05-20 专利类型 发明授权
代理组织机构 杭州天正专利事务所有限公司 查看该机构代理的所有专利
专利介绍
一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置,包括上止推盘、主轴、下止推盘、轴套、气室外套、线状传感器以及主轴保持架,上止推盘、下止推盘分别与主轴的上下两端面同轴密封固接,三者共同形成用于容纳轴套的凹腔;轴套套在所述主轴外部,轴套与凹腔之间的间隙作为气模的容纳腔;轴套的外壁设有用于容纳气室外套的凹槽,轴套外部套装气室外套,凹槽的上下槽壁分别与所述气室外套上下两端面密封固接;轴套设有轴向节流孔、轴向细孔、多组径向节流孔和多组径向细孔,线状传感器的头部伸入气模内;主轴保持架设有卡槽。本发明的有益效果在于:实现超精密气体静压主轴气膜速度场的高效测试;根据需求布置测点,使用便捷;测试过程干扰小,可靠性高。
法律进度
  • 2023-05-23 授权 ...

  • 2017-06-23 实质审查的生效 IPC(主分类): G01P 5/00 专利申请号: 201710070899.8 申请日: 2017.0 ...

  • 2017-05-31 公开 ...

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