• 专利申请
    2015-06-26
  • 公布公告
    2017-04-26
  • 授权日期
    2017-04-26
  • 终止
    2027-04-24
极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架
极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架
* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。 有效专利
CN201510363157.5 2015-06-26 B23B21/00 {{ classMap["B23B21/00"] }}
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黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
专利分类项目

B23B21/00 : 车床溜板；横向滑板；刀架（刀杆入B23B 29/00）；任何机床的类似部件

专利注册信息
初审公告期号 2015-06-26 初审公告日期 2017-04-26
注册公告期号 2017-04-26 注册公告日期 2017-04-26
专用权期限 2017-04-26 - 2027-04-24 专利类型 发明授权
代理组织机构 哈尔滨市松花江专利商标事务所 查看该机构代理的所有专利
专利介绍
极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，属于极紫外光刻光源收集镜的刀架加工技术领域。它为了解决加工中由于车刀颤抖，使镜片表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题。本发明所述的刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体，刀座是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，圆柱体与长方体为一体件，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑。适用于作为极紫外光刻光源收集镜车削加工的刀架。
法律进度

  • 2017-06-30 著录事项变更 发明人由王骐 徐强 赵永蓬变更为王骐 高荣翔 徐强 赵永蓬 ...

  • 2017-04-26 授权 ...

  • 2015-10-21 实质审查的生效 IPC(主分类): B23B 21/00 专利申请号: 201510363157.5 申请日: 2015. ...

  • 2015-09-23 公开 ...

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